过程简述
在液晶显示器的生产过程中要多次涉及到清洗工艺，如所使用的玻璃基板在受入前必须清洗干净，在溅镀ITO导电膜之前还需要清洗干净；除此之外，在涂敷光刻胶等之前都要对玻璃基板进行清洗，将1微米以上的颗粒以及所有的无机、有机污染物清洗干净，保证工艺达到所需要的精度要求。
清洗液过滤以去除清洗过程中引入的杂质，达到清洗循环利用或排放标准；玻璃基板上的污染物，主要来自制造工艺过程以及玻璃基板的搬运、包装、运输、储存过程，主要的污染物有尘埃粒子、纤维纸屑、矿物油和油脂等油垢、氧化硅等无机颗粒、制备加工过程的残留物、水迹、手指印等。
主要清洗工艺
湿法
刷洗
高压喷淋
浸泡式超声波清洗
流水式高频超声波清洗
药液喷淋
二流体清洗
超高压微细粒子喷射清洗技术
功能水清洗技术
干法
紫外线照射清洗(UV清洗)
等离子体清洗
问题描述
清洗液中的污染物对玻璃基板性能造成不良影响
影响加工过程中玻璃基板表面与使用的各种材料之间的亲和力
伤害玻璃基板松软膜层
产品应用
高纯水、超纯水、去离子水的终端过滤
工艺用水处理，或作为高纯水及多种模式过滤的前过滤
